博科真空泵

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        淺談干式真空機組的形式
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        淺談干式真空機組的形式

        • 分類:行業新聞
        • 作者:
        • 來源:
        • 發布時間:2021-12-02 14:14
        • 訪問量:

        【概要描述】事實上,更早的一些干式真空機組的設計理念是疊加羅茨泵。這種多級設計使氣體通道相當復雜,每個階段需要更多氮的氮具有稀釋和隔離作用。同時,為了達到良好的真空度,對各級的間隔有非常嚴格的要求。當然,由于內部壓縮比的增加,該設計的功耗相對較低。

        淺談干式真空機組的形式

        【概要描述】事實上,更早的一些干式真空機組的設計理念是疊加羅茨泵。這種多級設計使氣體通道相當復雜,每個階段需要更多氮的氮具有稀釋和隔離作用。同時,為了達到良好的真空度,對各級的間隔有非常嚴格的要求。當然,由于內部壓縮比的增加,該設計的功耗相對較低。

        • 分類:行業新聞
        • 作者:
        • 來源:
        • 發布時間:2021-12-02 14:14
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        詳情

          干式真空機組主要有以下形式,下面我們來分析一下。

          1. 雙元葉式干式真空機組

          雙元葉式設計與目前更流行、更廣泛使用的羅茨泵非常相似。事實上,更早的一些干式真空機組的設計理念是疊加羅茨泵。這種多級設計使氣體通道相當復雜,每個階段需要更多氮的氮具有稀釋和隔離作用。同時,為了達到良好的真空度,對各級的間隔有非常嚴格的要求。當然,由于內部壓縮比的增加,該設計的功耗相對較低。

          2. 三葉原葉干式真空機組

          “三葉原葉設計”和“雙葉設計”的原理是一樣的。但是,不是在圓上轉一圈,把氣體分成兩個,而是分成三個部分。這兩種設計有相同的優點和缺點。為了進一步降低功耗,有些干式真空機組制造商在電動部分使用兩個直流電動機,但這減少了扭矩,降低了重新啟動的能力。與雙層圓形裂紋設計一樣,三葉圓形裂紋設計的每一層都需要更多的氮,以起到稀釋和隔離的作用。


        干式真空機組


          3. 組合干式真空機組

          組合設計使用Rotz提高低壓力下的進氣效率,使用爪子提高高壓力下的進氣效率。它的基本原理和機身通道與前面介紹的圓形裂縫式設計完全相同。另外,一些干式真空機組制造商將最后一個等級更改為組合設計,使氣體轉一圈,可以分為5個。就像三元裂縫式設計可以把它分為三個部分一樣。同樣,在許多工程中,組合式設計的各個層面都需要更多的氮,以起到稀釋和隔離的作用。

          4. 外部壓縮螺釘

          外部壓縮螺釘設計使用一對等距螺釘。這使得干式真空機組內部壓縮降至最低,氣體通道最短,簡單。這樣,氣體在泵中停留的時間也最短。這種設計由于內部壓縮比的減少,耗電量相對較高,但在復雜的半導體工藝中穩定性非常高。這種單階段設計對氮用量的要求也變得非常小和簡單,在多個工藝中具有很好的互換性。在很多清潔工藝中,不用氮。

          5. 內部壓縮螺釘

          除了使用一對非等距離螺釘外,內部壓縮型螺釘設計和外部壓縮型螺釘設計的基本原理非常相似。由于螺釘之間的容積減少,內部被壓縮。由于內部壓縮,該設計將功耗降低到了與多級泵相似的水平。但是,在許多工序中,這種內部壓縮與多級泵一樣,由于干式真空機組體內氣體的物理化學變化,容易發生固化或液化。

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